テクノリッジは、最新の技術成果をはじめ、産業技術・科学技術をわかりやすく紹介するため、和歌山県工業技術センターが技術情報誌として年3回、関連企業の方々に発行しています。
現在、県内外の企業や団体、約300社に送付しご愛読いただいています。
TECHNORIDGE(テクノリッジ)329号
特集 ―断面観察・分析―
製品の品質保証や不具合解析を行うためには、それぞれの材料に適した分析手法を選択する必要があります。近年、製品そのものや材料加工の微細化・微小化が進んできていることから、「微小領域の詳細な分析」に対する要望が増加してきています。
そこで、本号では、微小領域を分析するために必要な「試料の内部を露出させる断面加工」に焦点を当て、断面作製の様々な手法や、実際の観察・分析例などをご紹介します。
目次
- 巻頭言
- 比較的柔らかい試料の断面観察
- 微細構造薄膜の断面観察
- 集束イオンビームを利用した断面作製と観察事例
- 断面イオンミリングを用いた表面処理品の断面作製、観察と分析
2022年02月21日